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硅片厚度測量儀

簡要描述：硅片厚度測量儀SIT-200由精確可調激光光源，聚焦傳感器，光學接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學探測器進行檢測。

  • 產(chǎn)品型號：SIT-200
  • 更新時間：2024-12-26
  • 訪  問  量：930

產(chǎn)品簡介

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
組件類別其他應用領域電子

詳細介紹

硅片厚度測量儀SIT-200

硅片厚度測量儀（SIT-200）由精確可調激光光源，聚焦傳感器，光學接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學探測器進行檢測。


硅片厚度測量儀SIT-200產(chǎn)品特點：

l  全光學，非接觸硅片厚度測試

l  高動態(tài)范圍測量粗糙表面

l  濕法刻蝕過程中實時測量

高靈敏度         高精度           快速測量        遠程控制


結構示意圖

SIT-200

產(chǎn)品參數(shù)：

測量目標  

硅片  

測量厚度  

10-500μm

光源  

1515-1585nm掃描

功率  

0.6mw，Class1

指示光源  

紅光，Class1M

測量時間  

20ms

重復性  

0.1μm

輸出監(jiān)控  

干擾信號（電學）  

PC接口

網(wǎng)口  

供電  

100-240V，50/60Hz

尺寸  

364 x 147 x 391mm

重量  

9kg




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